使用智能氫氣發生器的工藝流程，開機時，先用原料氫置換系統，從閥放空，待系統內的高純氮置換干凈后，根據用戶的原料氫內的含氫量和所需高純氫量，參照表一數據，來選定操作溫度、操作壓力和馳放氣量，然后再通電加熱鈀管，從閥流出高純氫。調溫方法，可根據隨機所帶的說明書進行溫度設定。智能氫氣發生器從鈀擴散制得的高純氫到實際獲得的高純氫，尚需要置換閥前管線的一段時間，通常約需2-3小時。而氫氣流量大，需要檢查儀器是否漏氣。用盲螺母把儀器背面氫氣出口封閉，開機觀察流量指示是否回零，幾分鐘后流量沒有降到較小或者到零，說明儀器本身漏氣。一般檢查干燥劑筒上蓋內的橡膠面有無干燥劑附著和干燥劑底座的0圈是否脫開即可，否則說明后面連接的儀器漏氣。